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双物镜白光干涉仪

简要描述:中图仪器SuperView W1双物镜白光干涉仪的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

  • 更新时间:2022-04-12
  • 产品型号:SuperView W1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:297

详细介绍

品牌其他品牌产地类别国产
应用领域化工,能源,冶金,航天

中图仪器推出的SuperView W1白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级工件的微观几何轮廓、粗糙度、平整度、曲率等,可广泛应用于3C电子玻璃屏及其精密配件、汽车零部件、半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、MEMS器件等超精密加工行业及航天、高校科研院所等领域中。


在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中,SuperView W1双物镜白光干涉仪的自动拼接功能,能快速实现大区域、高精度的测量。

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如一款旋转抛物面零件,其表面有高反、超光滑、凹面弧形特征,用于微小位移和角度检测。针对其凹面弧形的检测需求,原子力显微镜和共聚焦显微镜这两个显微测量仪器中,均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除,只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪,能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。


旋转抛物面零件.jpg


针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1双物镜白光干涉仪的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

EPSI重建算法.jpg


深圳市中图仪器科技有限公司致力于精密计量、检测仪器设备的研发、生产和销售。现拥有2千平方米的现代化科研办公场地及3千平方米的精密加工、装配基地,配备了科研设施和精密加工设备,按照ISO9001标准进行生产,为客户提供高质量产品。



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