平面光学激光干涉仪

中图仪器的平面光学激光干涉仪产品在测量精度、测量速度、测量类型等方面选择上，给用户提供了更多选择。

产品型号：SJ6000

稳频方式：激光热稳频

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

产品型号： SJ6800

稳频方式： 激光双纵模热稳频

稳频精度： 0.04ppm

测量距离：≤（0-80）m（无需远距离线性附件）

测量分辨力：1nm

测量最大速度：4m/s

线性测量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度测量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

主要特点：绝对测量、恒测力、无阿贝误差

中图仪器的平面光学激光干涉仪测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。

中图激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、垂直度、角度、直线度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行加速度、位移、速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

如数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副，滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差，且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降，当前有效且广泛应用的方法是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。