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3D粗糙度轮廓仪

简要描述:中图仪器3D粗糙度轮廓仪支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。

  • 更新时间:2022-05-11
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:284

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器产地类别国产
应用领域医疗卫生,食品,能源,冶金,综合

中图仪器3D粗糙度轮廓仪采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。


可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


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EPSI重建算法.jpg

EPSI重建算法


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高速扫描的FVSI重建算法


中图仪器3D粗糙度轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。其载物台尺寸为320*200mm(可定制),行程为140*110mm(可定制);测量的Z向范围可达10mm(2.5X镜头),Z向的最高精度可达0.1nm。


【测量小尺寸样品时】可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件;


【测量大尺寸样品时】支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um;



应用

在3C领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在LED行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

在光纤通信行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在集成电路行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;

在军事领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度;

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