您好!欢迎访问深圳市中图仪器股份有限公司网站!
全国服务咨询热线:

18928463988

Products产品中心

国内白光干涉仪

简要描述:中图仪器国内白光干涉仪的重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。测件尺寸可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸。

  • 更新时间:2022-05-16
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:142

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域医疗卫生,生物产业,能源,航天

中图仪器国内白光干涉仪的重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。测件尺寸可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为140*110mm,局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。


v2-c3b8c422931f8fa173eeda13d32952de_720w.png


中图仪器国内白光干涉仪采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。


在光纤通信行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;

在集成电路行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在3C领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;

在LED行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度;

在军事领域,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度;

在EMES行业,SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;

......


白光干涉仪由于镜头视野较小,要想测量物体整个区域的表面情况,只能用自动拼接测量功能,但耗时较多,这时候可以用自动多区域测量功能,在样品表面抽取多个测量区域进行测量,从而对样品进行评估分析。中图仪器白光干涉仪支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。


自动拼接功能.jpg


技术规格

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


深圳市中图仪器股份有限公司是国家高新技术企业,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。历经了十多年的技术积累和发展实践,专业覆盖面广,专项技术能力强,具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信

版权所有 © 2022 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网