激光干涉仪

中图仪器SJ6000激光干涉仪可对机床进行校准，并提供数据补偿依据，是高品质测量仪器产品。

它集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

产品功能

1. 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2. 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3. 可实现对机床回转轴的测量与校准；

4. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

5. 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

6. 支持手动或自动进行环境补偿。

激光的高方向性、高相干性和高单色性特点，使其具有普通光源所没有的优势。SJ6000激光干涉仪测量分辨率0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。

SJ6000主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。它采用的激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、长期稳定性好的激光频率输出，并且干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响，保证了干涉光路稳定可靠。