3d光学影像轮廓测量仪

中图仪器3d光学影像轮廓测量仪是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。它以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等领域。

主要测量功能

1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

6、微电子表面分析和MEMS表征。

部分参数

Z向分辨率：0.1nm

横向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重复性：0.1nm

表面形貌重复性：0.1nm

台阶测量:重复性：0.1% 1σ；准确度：0.75%

3d光学影像轮廓测量仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，并通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。测量结果依据ISO/ASME/EUR/GBT四大标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。