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光学检测设备轮廓仪

简要描述:中图仪器SuperViewW1光学检测设备轮廓仪主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓尺寸,此外具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

  • 更新时间:2022-08-08
  • 产品型号:SuperView W1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:148

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域食品,地矿,能源,航天

中图仪器SuperViewW1光学检测设备轮廓仪主要是用于测量表面形貌或测量表面轮廓尺寸,此外具有测量晶圆翘曲度的功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。


主要应用领域

1、用于太阳能电池测量;

2、用于半导体晶圆测量;

3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;

4、用于机械部件的计量;

5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。


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SuperViewW1光学检测设备轮廓仪以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


部分参数

Z向分辨率:0.1nm

横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重复性:0.1nm

表面形貌重复性:0.1nm

台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%


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