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中图白光干涉仪设备

简要描述:中图白光干涉仪设备具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。它以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,通过一个按键开关,可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。

  • 更新时间:2022-09-14
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:64

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域环保,化工,能源,航天

中图白光干涉仪设备具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。它以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,通过一个按键开关,可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。


光学3D表面轮廓测量仪,W1白光干涉仪.jpg


结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

  

形貌仪主要应用领域:

1、用于太阳能电池测量;

2、用于半导体晶圆测量;

3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;

4、用于机械部件的计量;

5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。


针对芯片封装测试流程的测量需求,中图白光干涉仪设备SuperViewW1型号的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围,可覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。


光学3D表面轮廓测量仪,W1白光干涉仪.jpg



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