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非接触式3d光学轮廓仪

简要描述:​中图仪器非接触式3d光学轮廓仪SuperViewW1能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。非接触高精密测量方式,不会划伤甚至破坏工件,而且测量速度快,不必像探头逐点进行测量。对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。

  • 更新时间:2022-10-13
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:143

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
适用范围三维形貌测量电动机功率0.3KW
外形尺寸900×700×604㎜mm重量150kg
应用领域环保,能源,航天,综合

中图仪器非接触式3d光学轮廓仪SuperViewW1能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。


SuperViewW1白光干涉仪,光学3D表面轮廓仪.jpg


它采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。


结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。


SuperViewW1白光干涉仪,光学3D表面轮廓仪.jpg


主要应用领域:

1、用于太阳能电池测量;

2、用于半导体晶圆测量;

3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;

4、用于机械部件的计量;

5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。


SuperViewW1非接触式3d光学轮廓仪非接触高精密测量方式,不会划伤甚至破坏工件,而且测量速度快,不必像探头逐点进行测量。对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。

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