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白光3D轮廓仪

简要描述:中图仪器SuperViewW1白光3D轮廓仪非接触高精密测量方式,不会划伤甚至破坏工件,且测量速度快,不必像探头逐点进行测量。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

  • 更新时间:2022-10-17
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:124

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
外形尺寸900×700×604mm重量150kg
应用领域食品,农业,能源,航天,综合

中图仪器SuperViewW1白光3D轮廓仪非接触高精密测量方式,不会划伤甚至破坏工件,且测量速度快,不必像探头逐点进行测量。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。


工作原理

照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从这两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,所以根据白光干涉条纹明暗度就可以解析出被测样品的相对高度。


SuperViewW1白光干涉仪,光学3D表面轮廓仪.jpg


产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


应用领域

SuperViewW1白光3D轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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