激光干涉仪测量系统

中图仪器SJ6000激光干涉仪测量系统可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测，结合软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析，实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析。

功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

3.可实现龙门机床双轴同步测量；

4.可实现对机床回转轴的测量与校准；

5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

6.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

7.支持手动或自动进行环境补偿。

中图仪器研发生产的SJ6000激光干涉仪测量系统测量分辨率可达0.01″，系统测量精度为±1″，基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。作为一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的抗扰力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。