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激光干涉仪测量系统

简要描述:中图仪器SJ6000激光干涉仪测量系统可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测,结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析,实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析。

  • 更新时间:2022-11-11
  • 产品型号:SJ6000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:109

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域化工,建材,交通,航天,汽车

中图仪器SJ6000激光干涉仪测量系统可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测,结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析,实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析。


功能

1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

3.可实现龙门机床双轴同步测量;

4.可实现对机床回转轴的测量与校准;

5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

6.具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

7.支持手动或自动进行环境补偿。


SJ6000激光干涉仪,国产激光干涉仪品牌.jpg


中图仪器研发生产的SJ6000激光干涉仪测量系统测量分辨率可达0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要由SJ6000激光干涉仪主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000回转轴测量软件构成。作为一个交流测试系统,当激光光束强度受环境影响发生变化时,其频率不会受光强变化影响发生变化,也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此,它的抗扰力强,精度高,测量结果可靠,在精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

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