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白光干涉3D轮廓仪

简要描述:SuperViewW1白光干涉3D轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等.

  • 更新时间:2022-11-22
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:211

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
外形尺寸900×700×604mm重量150kg
应用领域生物产业,能源,航天,汽车,综合

SuperViewW1白光干涉3D轮廓仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量2D、3D参数。


产品功能

1)具备各种类型样品表面微观形貌的3D轮廓重建与测量功能;

2)具备表面粗糙度和微观轮廓的检测功能,粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别;

3)具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能;

4)具备粗糙度分析、轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能;

5)具备自动对焦、自动测量、自动多区域测量、自动拼接测量等自动化功能;

6)具备一键分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

7)具备word、excel等数据报表导出功能。


SuperViewW1光学3D表面轮廓仪,国产白光干涉仪品牌.jpg


产品性能

纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关

扫描帧速:50FPS/s

粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)

光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关

至大点数:1048576(标准)

台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ


SuperViewW1白光干涉3D轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

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