产品简介

中图仪器NS200台阶仪搭载线性可变差动电容传感器（LVDC），13μm量程下实现0.01埃分辨率，5Å超高解析力，精准捕捉抗蚀剂台阶从纳米级到1050μm的细微形貌，匹配光刻胶、抗蚀剂等精密材料的测量要求。

还在被批量检测效率低、数据偏差大、适配性不足困扰吗？中图仪器NS200台阶仪搭载线性可变差动电容传感器（LVDC），13μm量程下实现0.01埃分辨率，5Å超高解析力，精准捕捉抗蚀剂台阶从纳米级到1050μm的细微形貌，匹配光刻胶、抗蚀剂等精密材料的测量要求。同时支持多区域阵列式测量，批量芯片一键完成多点位检测，搭配SPC统计分析功能，直观呈现数据变化趋势，减少人工干预，检测效率提升30%以上，助力精益生产。

一、有哪些产品特点？

1、核心参数测量：精准匹配工艺全流程

（1）台阶高度测量：适配蚀刻、溅射、沉积、CMP等工艺，精准量化材料沉积/去除量，保障工艺稳定性。

（2）粗糙度&波纹度分析：通过微观轮廓曲线计算数十项参数，满足严格质量管控标准。

（3）表面应力检测：兼容多种材料，为材料性能分析提供关键数据，助力研发创新。

2、智能测量模式：高效提升检测效率

（1）单区域测量：影像导航+一键启动，操作简单，快速完成单点精准测量。

（2）多区域批量测量：阵列式扫描路径设置，批量样品一键搞定，减少重复操作。

（3）3D可视化测量：自动完成扫描面扫描与3D图像重建，微观形貌直观呈现，便于分析决策。

（4）SPC统计分析：生成数据变化趋势图表，为批量生产质量追溯提供数据支持。

3、便捷操作设计：降低使用与维护成本

（1）双导航光学影像：500W像素彩色相机（正视+斜视可选），扫描路径精准设置，轨迹实时跟进，避免测量偏差。

（2）快速换针功能：磁吸式测针+软件快速标定，现场秒换，保障精度与重复性，减少停机维护时间。

4、广泛行业适配：聚焦核心应用场景

（1）半导体制造：沉积/蚀刻薄膜厚度测量、CMP工艺平整度检测、抗蚀剂台阶高度分析，助力芯片良率提升。

（2）光伏&显示面板：太阳能涂层膜厚检测、AMOLED屏微结构分析、触控面板铜迹线测量，适配光伏组件与显示器件生产需求。

（3）MEMS&微纳材料：微型传感器形貌表征、柔性电子薄膜厚度检测，支撑微纳器件研发与量产质控。

（4）科研与高校：材料表面应力分析、微加工工艺研发数据支撑，加速科研项目落地。

二、实际应用案例：光伏行业ITO膜高效测量

针对太阳能光伏ITO导电薄膜测量场景，NS200台阶仪提供定制化高效方案：

1. 全电动载物台+360°旋转台，快速定位测量标志位，节省定位时间。

2. 自定义多区域测量，批量样件一键多点位检测，提升测量效率30%+。

3. SPC统计分析功能，直观呈现数值变化趋势，便于工艺调整优化。

如需针对您的行业场景定制测量方案、获取详细参数或申请样品测试，欢迎随时联系中图仪器，我们将为您提供专业技术支持与咨询服务！

（注：产品参数与功能可能随技术升级更新，具体以实际沟通为准）