3d轮廓形貌扫描仪

SuperView W1-Pro3d轮廓形貌扫描仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式设计，隔离地面震动与噪声干扰。

产品功能

1）设备提供微观形貌相关的粗糙度和台阶高等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量等自动化扩展功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能；

部分参数

XY位移平台

尺寸：300×300㎜

移动范围：200×200㎜

负载：10kg

控制方式：电动

Z轴聚焦

行程：100mm

控制方式：电动

Z向扫描范围：10mm

形貌重复性：0.1nm

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶测量

准确度：0.3%

重复性：0.08% 1σ

可测样品反射率：0.05%~100%

SuperView W1-Pro3d轮廓形貌扫描仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用

在3C领域，可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；

在LED行业，可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；

在光纤通信行业，可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；

在集成电路行业，可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行业，测量台阶高度和表面粗糙度；

在军事领域，测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。