SJ6000机床激光干涉仪

SJ6000机床激光干涉仪环境适应能力好，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。使用激光干涉仪测量定位误差，并用检定软件进行记录，可以轻松获取轴上多点测量的误差表。这些误差能够被转译成补偿值，在相应机床控制器软件位置进行补偿值的写入，实现机床的定位误差补偿（螺距补偿）、反向间隙补偿。

产品功能

（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；

（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

（6）支持手动或自动进行环境补偿。

数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副，滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差，且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降，当前有效且广泛应用的方法就是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。

SJ6000机床激光干涉仪对机床运动导轨和滚珠丝杆的各项参数检测分析、校准补偿具有重要性，而机床在装配、加工、生产的同时需要频繁的使用到激光干涉仪，来进行多种几何量精度参数的测量以及动态性能的测试、分析。