光学共聚焦扫描显微镜

中图仪器VT6000系列光学共聚焦扫描显微镜提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，还提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能：

粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；

几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；

结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；

频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；

功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

以共聚焦技术为原理的VT6000光学共聚焦扫描显微镜，是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。仪器基于共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，实现器件表面形貌3D测量。在材料生产检测领域中能对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

产品功能

1) 设备提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能；

2)一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

3)提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能。其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

5) 提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。