国产共聚焦显微镜

VT6000国产共聚焦显微镜基于激光共聚焦显微技术，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，实现器件表面形貌3D测量。

应用

用于机械制造、汽车、航天航空、船舶重工、军工、风电、新能源等大型零件的测量；3C、工具原形等中小型零件的测量。涵盖箱体、机架、齿轮，凸轮、涡轮，蜗杆、叶片的曲线、曲面的测量，可对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，完成过程控制，质量控制，逆向成型等任务。

产品特点

1）结构简单：仪器整体由一台轻量化的设备主机和电脑构成，控制单元集成在设备主机之内，亦可采用笔记本电脑驱动，真正实现了“拎着走"的便携式设计；

2）真彩图像：配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像，对细节的展现纤毫毕现；

3）操作便捷：采用全电动化设计，并可无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，图像视窗和分析视窗同界面的设计风格，实现了所见即所得的快速检测效果；

4）安全无忧：采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。

技术指标

型号：VT6100

行程范围：100*100*100mm

视场范围：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度测量重复性(1σ)：12nm

高度测量精度：± (0.2+L/100) μm

高度测量分辨率：0.5nm

宽度测量重复性(1σ)：40nm

宽度测量精度：± 2%

宽度测量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

仪器重量：50kg

VT6000国产共聚焦显微镜具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；还具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量。一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析。