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白光共聚焦显微镜

简要描述:VT6000白光共聚焦显微镜主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

  • 更新时间:2023-04-14
  • 产品型号:VT6100
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:611

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域能源,电子,汽车,综合

VT6000白光共聚焦显微镜主要采用3D捕获的成像技术,它通过数码相机针孔的高强度激光来实现数字成像,具有很强的纵向深度的分辨能力。以转盘共聚焦光学系统为基础,结合高稳定性结构设计和3D重建算法,共同组成测量系统,保证仪器的高测量精度。


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共聚焦显微镜成像原理

共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔,其中一个放在光源前面,另一个放在探测器前面,如图所示。


共焦显微镜光路示意图.png

共焦显微镜光路示意图


得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄,通过所累积的不同焦平面的图像序列,使用软件编译完整的 3d 图像。


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技术指标

型号:VT6100

测量原理:共聚焦光学系统

光源:白光LED


行程范围:100*100*100mm

视场范围:120×120 μm~1.2×1.2 mm


高度测量重复性(1σ):12nm

高度测量精度:± (0.2+L/100) μm

高度测量分辨率:0.5nm


宽度测量重复性(1σ):40nm

宽度测量精度:± 2%

宽度测量分辨率:1nm


外形尺寸:520×380×600mm

仪器重量:50kg


产品功能

1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;

2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量;

3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能;

4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;


应用领域

VT6000白光共聚焦显微镜可对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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