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激光干涉仪光学测量仪

简要描述:SJ6000激光干涉仪光学测量仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:SJ6000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:748

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域环保,化工,交通,航天,汽车

激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。它采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。


中图仪器SJ6000激光干涉仪光学测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

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产品配置

SJ6000激光干涉仪光学测量仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

主要镜组图.png

▲主要镜组图


其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。


技术规格

稳频精度0.05ppm
动态采集频率50 kHz
预热时间≤ 6分钟
工作温度范围(0~40)℃
存储温度范围(-20~70)℃
环境湿度(0~95)%RH
线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程(0~15)m
角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度轴向量程(0~15)m
平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度轴向量程短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m
垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m


产品功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。


测量软件

(1)友好的人机界面;

(2)丰富的应用功能模块;

(3)向导式的操作流程;

(4)简洁化的记录管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企业专属模板定制。


产品应用

对机床精度再校准.jpg

对机床精度再校准

三坐标测量机示值误差测量.jpg

三坐标测量机示值误差测量

导轨直线度检测.jpg

导轨直线度检测

光刻机X轴Pitch测量.jpg

光刻机X轴Pitch测量


导轨直线度检测


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