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白光干涉显微镜

简要描述:中图仪器SuperViewW1白光干涉显微镜也叫光学轮廓仪、光学3D表面轮廓仪、非接触式粗糙度轮廓仪等,仪器分辨率0.1μm,重复性0.1%,可为样品表面测量提供快速,便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:SuperView W1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:634

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

中图仪器SuperViewW1白光干涉显微镜也叫光学轮廓仪、光学3D表面轮廓仪、非接触式粗糙度轮廓仪等,仪器分辨率0.1μm,重复性0.1%,可为样品表面测量提供快速,便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于测试直至100反射率的各类高反表面。

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产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

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软件功能

(1) 提供多种数据处理方式。

提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置;

提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正;

提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。

(2) 提供多种分析工具。

提供距离、台阶高度等要素测量;

提供点、线、圆弧、角度等特征测量,以及直线度、真圆度等形位公差评定,为用户展现强大的轮廓分析功能;

提供基于表面的纹理分析,方便地观察纹理方向与纹理均质性;

提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能;

提供频谱分析功能,可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等;

提供线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能;

提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D,3D参数。

(3) 可视化的工作流模式,数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图,在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。

(4) 多样化的视图观察角度,3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征,并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。

(5) 内置多种分析方案,可对特定表面进行一键分析,自动生成一组分析结果,节约操作时间;并可自定义方案,将用户的分析项目组合起来,避免重复操作。

(6) 便捷的同步分析功能,可实时提取表面二维剖面,同步计算更新参数指标,实现对样品的操作所见即所得。

(7) 拥有多种报表形式,用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。

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超精密加工


性能参数

型号

W1

光源白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×、0.75×、1×

标准视场0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×)


XY位移平台

尺寸
320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
形貌重复性0.1nm
粗糙度RMS重复性0.005nm
台阶测量

准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ)

可测样品反射率0.05%~100%
主机尺寸700×606×920㎜


SuperViewW1白光干涉显微镜基于白光干涉原理,不仅用于零件的检测,还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备,能完成缺陷尺寸的在线检测。它特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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