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台阶仪接触式表面形貌测量仪

简要描述:台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。中图仪器CP系列台阶仪接触式表面形貌测量仪广泛应用于:大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:CP200
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:617

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。中图仪器CP系列台阶仪接触式表面形貌测量仪广泛应用于:大学、研究实验室和研究所、半导体和化合物半导体、高亮度LED、太阳能、MEMS微机电、触摸屏、汽车、医疗设备等行业领域。

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产品功能

1.参数测量功能

1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料;

2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;

3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲,如在半导体晶圆制造过程中,因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。

2.数采与分析系统

1)自定义测量模式:支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式;

2)导航图智能测量模式:支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。

3)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

3.光学导航功能

配备了500W像素的彩色相机,可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示,进行即时的高精度定位测量。

4.样品空间姿态调节功能

配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。


CP系列台阶仪接触式表面形貌测量仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。


产品特性

1.高重复性和再现性,满足被测件测量精度要求

线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调

测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。

4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机

5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台

6.强大的数据采集和分析系统

台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。


典型应用

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