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白光干涉三维轮廓仪chotest

简要描述:SuperViweW1白光干涉三维轮廓仪chotest采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。

  • 更新时间:2024-05-13
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:563

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器产地类别国产
应用领域农业,能源,电子,电气,综合

基于白光干涉原理,中图仪器自主研发生产的SuperViweW1白光干涉三维轮廓仪chotest采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。


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产品特点

1、参数测量:粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积;

2、环境噪声检测:实时监测;

3、双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器;

4、自动拼接:3轴光栅闭环反馈;

5、双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振。


性能特征

1、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统,以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统,保证了测量精度和测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计,可视化窗口,结合自定义分析模板的自动化测量功能,实现了快速批量测量的功能,自动完成多区域的测量与分析过程。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

(1)软件防撞保护ZSTOP

即在Z轴上设置停止位,设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离,当镜头运动到该位置时,就立刻停止不再向下运动,起到保护样品和镜头的作用。

(2)Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品,也守护每一分价值和信任。


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白光干涉三维轮廓仪chotest让轮廓测量价格更为实惠,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形情况、腐蚀情况、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


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除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,白光干涉仪具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。

结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

主要应用领域:

1、用于太阳能电池测量;

2、用于半导体晶圆测量;

3、用于镀膜玻璃的平整度(Flatness)测量;

4、用于机械部件的计量;

5、用于塑料,金属和其他复合型材料工件的测量。


部分技术指标

型号W1
光源
白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台

标配:3孔手动

选配:5孔电动


XY位移平台

尺寸320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
Z向扫描范围10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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