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台阶仪测试薄膜厚度

简要描述:CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪测试薄膜厚度采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

  • 更新时间:2024-04-19
  • 产品型号:CP200
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:357

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域能源,电子,综合

CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪测试薄膜厚度采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。


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台阶仪测试薄膜厚度功能:

1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;

2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;

3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;


台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。它对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。

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性能特点

1.重复性和再现性,满足被测件测量精度要求

线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调

测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。

4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机

5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台

6.强大的数据采集和分析系统

台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。


典型应用

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部分技术参数

型号CP200
测量技术探针式表面轮廓测量技术
探针传感器超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
样品R-θ载物台电动,360°连续旋转
单次扫描长度55mm
样品厚度
50mm
载物台晶圆尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
仪器电源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用环境

相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH

温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)

地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)

音频噪音:≤80dB

空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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