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中图仪器3d轮廓测量仪

简要描述:SuperViewW1中图仪器3d轮廓测量仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

  • 更新时间:2024-05-14
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:393

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域环保,能源,电子,综合

SuperViewW1中图仪器3d轮廓测量仪以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,结果组成:

1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;

2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;

3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;

5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;

6、微电子表面分析和MEMS表征。

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SuperViewW1中图仪器3d轮廓测量仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。


产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

新建项目5.jpg

SuperViewW1轮廓测量仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

应用范例1.jpg

部分技术指标

型号W1
光源
白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台

标配:3孔手动

选配:5孔电动


XY位移平台

尺寸320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
Z向扫描范围10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜


恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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