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白光形貌仪

简要描述:中图仪器SuperViewW1白光形貌仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperView W的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。

  • 更新时间:2024-06-25
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:464

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器产地类别国产
应用领域能源,电子,电气,综合

中图仪器SuperViewW1白光形貌仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

白光形貌仪

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperView W的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描, 重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

白光形貌仪

超光滑透镜测量


SuperViewW1白光形貌仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。


产品功能

(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

白光形貌仪

大尺寸样品_拼接测量


应用领域

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

白光形貌仪


SuperViewW1白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。


部分技术指标

型号W1
光源
白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台

标配:3孔手动

选配:5孔电动


XY位移平台

尺寸320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
Z向扫描范围10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。


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