详细介绍
品牌 | CHOTEST/中图仪器 | 价格区间 | 面议 |
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,能源,电子,电气,综合 |
NS系列台阶仪测量薄膜厚度仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。针对测量ITO导电薄膜的应用场景,NS200台阶仪提供如下便捷功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;
NS系列台阶仪测量薄膜厚度仪器对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
1.出色的重复性和再现性,满足被测件测量精度要求
线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调
测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
型号 | NS200 |
测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
样品R-θ载物台 | 电动,360°连续旋转 |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
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