您好!欢迎访问深圳市中图仪器股份有限公司网站!
全国服务咨询热线:

18928463988

Products产品中心
首页 > 产品中心 > 显微测量仪 > 台阶仪 > NS200台阶仪测量薄膜厚度仪器

台阶仪测量薄膜厚度仪器

简要描述:NS系列台阶仪测量薄膜厚度仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

  • 更新时间:2024-07-18
  • 产品型号:NS200
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:374

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域化工,能源,电子,电气,综合

NS系列台阶仪测量薄膜厚度仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。

台阶仪测量薄膜厚度仪器

工作原理

当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。针对测量ITO导电薄膜的应用场景,NS200台阶仪提供如下便捷功能:

1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;

2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;

3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;


NS系列台阶仪测量薄膜厚度仪器对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。


典型应用

台阶仪测量薄膜厚度仪器

产品特性

1.出色的重复性和再现性,满足被测件测量精度要求

线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。

2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调

测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。

3.超平扫描平台

系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。

4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机

5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台

6.强大的数据采集和分析系统

台阶仪软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。

台阶仪测量薄膜厚度仪器


部分技术参数

型号NS200
测量技术探针式表面轮廓测量技术
探针传感器超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)
样品R-θ载物台电动,360°连续旋转
单次扫描长度55mm
样品厚度
50mm
载物台晶圆尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
仪器电源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用环境

相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH

温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)

地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)

音频噪音:≤80dB

空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
扫一扫,关注微信

版权所有 © 2024 深圳市中图仪器股份有限公司 All Rights Reserved    备案号:粤ICP备12000520号    sitemap.xml    管理登陆    技术支持:化工仪器网