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导轨直线度激光干涉测量仪

简要描述:SJ6000导轨直线度激光干涉测量仪使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。

  • 更新时间:2024-08-21
  • 产品型号:SJ6000
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:291

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域能源,电子,交通,汽车,综合

中图仪器SJ6000导轨直线度激光干涉测量仪利用激光干涉现象来实现非接触式测量,具有高精度、高分辨率、快速测量等优点,具有实时性测量能力,能够同时测量多个位置或参数,提高测量效率。

导轨直线度激光干涉测量仪


直线度测量原理

导轨直线度激光干涉测量仪

▲直线度测量的光路原理构建图

直线度干涉镜在移动过程中产生横向或纵向位移时,两束反射光会有相对应的光程差产生,SJ6000采集到该光程差的干涉信号,经过运算处理,即可得出对应的直线度值。


直线度测量配置及使用方法

直线度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足±3mm范围内的直线度测量。

导轨直线度激光干涉测量仪

▲运动轴的横向直线度测量示意图

导轨直线度激光干涉测量仪

▲运动轴的纵向直线度测量示意图


直线度测量应用

导轨直线度激光干涉测量仪

▲SJ6000激光干涉仪测量导轨的直线度


SJ6000导轨直线度激光干涉测量仪使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)。结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。


产品功能

(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;

(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

(6)支持手动或自动进行环境补偿。

导轨直线度激光干涉测量仪


部分技术规格

稳频精度0.05ppm
动态采集频率50 kHz
预热时间≤ 6分钟
工作温度范围(0~40)℃
存储温度范围(-20~70)℃
环境湿度(0~95)%RH
线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程(0~15)m
角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度轴向量程(0~15)m
平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m)
直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度轴向量程短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m
垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事项:

平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组

平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组

直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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