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三维光学轮廓共聚焦材料显微镜

简要描述:VT6000三维光学轮廓共聚焦材料显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。

  • 更新时间:2024-09-02
  • 产品型号:VT6100
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:416

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器产地类别国产
应用领域能源,电子,交通,汽车,综合

中图仪器VT6000三维光学轮廓共聚焦材料显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

三维光学轮廓共聚焦材料显微镜

产品功能

1)3D测量功能:设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;

2)影像测量功能:设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能,可进行长度、角度、半径等尺寸测量;

3)自动拼接功能:设备具备自动拼接功能,能够实现大区域的拼接缝合测量;

4)数据处理功能:设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

5)分析工具功能:设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)批量分析功能:设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;

7)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;

8)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;

9)镜头安全功能:设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。

三维光学轮廓共聚焦材料显微镜

在材料生产检测领域中,VT6000三维光学轮廓共聚焦材料显微镜测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。在相同物镜放大的条件下,共焦显微镜所展示的图像形态细节更清晰更微细,横向分辨率更高。


不同应用场景下的3D形貌

主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中,其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。

3D形貌图片:

影像测量功能界面

三维光学轮廓共聚焦材料显微镜


部分技术指标

型号VT6100


行程范围

X100mm
Y100mm
Z100mm
外形尺寸
520*380*600mm
仪器重量50kg
测量原理共聚焦光学系统
显微物镜10×;20×;50×;100×
视场范围120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量
宽度测量
XY位移平台负载10kg
控制方式电动
Z0轴扫描范围10mm
物镜塔台5孔电动
光源白光LED

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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