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白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪

简要描述:SuperViewW白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量。

  • 更新时间:2024-11-28
  • 产品型号:SuperViewW1
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:86

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产地类别国产应用领域环保,化工,能源,电子,综合

中图仪器SuperViewW白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);

几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。

白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪

SuperViewW白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。


产品特点

1、干涉物镜

不通倍率的镜头,适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。

2、双通道气浮隔振系统

外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统,可有效隔离地面传导的振动噪声。

3、声波隔振防护

仪器外壳与内部运动机构采用了分离式设计,有效隔离了声波振动的传导。

4、水平调整装置

倾斜调整旋钮,调整条纹宽度,提高3D图像的重建精度。

5、便携式操纵杆

采用人体工程学设计,集成了XYZ三轴位移和速度、光源亮度的自动控制,并配有紧急停止按钮。

6、真空吸附台

专为半导体晶圆片定制的真空吸附台,确保样品在测量过程中不受空气中微弱气流扰动的影像。

7、3D重建算法

自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,测量精度可达亚纳米级别。

白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪

产品功能

1)样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;

2)单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;

3)多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;

4)自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;

5)编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件模块,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;

6)数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;

7)数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

8)批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;

9)数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;

10)故障排查功能:配置诊断模块,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;

11)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;

12)环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;

13)气浮隔振功能:采用气浮式隔振底座,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;

14)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;

15)镜头安全功能:双重防撞保护,软件ZSTOP防撞保护,设置后即以当前位置为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。


应用领域

白光干涉微纳米三维形貌一键测量仪


部分技术指标

型号W1
光源
白光LED
影像系统1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台

标配:3孔手动

选配:5孔电动


XY位移平台

尺寸320×200㎜
移动范围140×100㎜
负载10kg
控制方式电动
Z轴聚焦行程100㎜
控制方式电动
Z向扫描范围10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高)700×606×920㎜

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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