产品简介

PLR3000系列光纤激光尺配置高稳定氦氖激光光源，激光通过保偏光纤引导，用户可轻松将干涉仪配置到任意需要测量位置，最大限度减小阿贝误差。可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。

PLR3000系列光纤激光尺是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。其突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。  

PLR3000系列光纤激光尺配置高稳定氦氖激光光源，激光通过保偏光纤引导，用户可轻松将干涉仪配置到任意需要测量位置，最大限度减小阿贝误差。可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置，用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头，满足用户各种复杂场景应用。

核心优势  

1. 高精度  

（1）分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。  

（2）环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。  

2. 灵活配置  

（1）支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。  

（2）可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。  

3. 高稳定性与便捷性  

（1）激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。  

（2）体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。  

4. 广泛适用性  

大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。  

典型应用场景  

半导体制造：光刻机晶圆定位、精密工件台反馈控制。  

航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准。  

精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量。  

科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制。  

服务与支持  

定制化方案：根据需求提供探头配置、量程拓展、环境补偿单元等灵活选配。  

专业认证：提供中国计量院或深圳市计量院出具的激光校准证书，确保数据性。  

全球服务网络：1年质保，技术支持团队7×24小时响应，快速解决现场问题。