产品简介
SuperView W1系列纳米级白光干涉三维形貌仪以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数,一站式解决超精密测量精度不足、多材质适配难、批量检测效率低等测量难题。应用覆盖半导体、3C电子等多行业场景,数据驱动检测,赋能精密制造升级。
中图仪器SuperView W1系列纳米级白光干涉三维形貌仪以0.1nm级分辨率、8μm/s扫描速度、300+种标准参数,一站式解决超精密测量精度不足、多材质适配难、批量检测效率低等测量难题。应用覆盖半导体、3C电子等多行业场景,数据驱动检测,赋能精密制造升级。

1.精度硬核可量化:形貌重复性低至0.1nm,粗糙度RMS重复性0.005nm,台阶测量准确度仅0.3%,远超行业平均水平;搭配气浮隔振底座与0.1nm分辨率环境噪声评价,复杂车间环境也能稳定输出精准数据。
2.效率翻倍降成本:W1-Ultra型号0.1nm分辨率下扫描速度达8μm/s,单区域测量一键完成,批量样品可通过阵列式多区域测量+编程预设流程,实现“无需值守"自动化检测,某3C电子企业应用后,日均检测量从200件提升至500件。
3.全场景适配无压力:单一扫描模式覆盖超光滑到粗糙、全透明到黑色材质,支持10mm Z向扫描范围与数千张图像无缝拼接,某半导体厂商用其检测研磨减薄工件,成功解决“大范围扫描+高精度要求"双重难题。
4.软件生态强适配:自研Xtremevision Pro平台支持多机型自动识别,白光干涉与共聚焦模式自由切换,300+种ISO/ASME/EUR/GBT标准参数,满足不同行业检测合规要求。
1.半导体制造:为某头部半导体企业提供研磨减薄工艺检测方案,精准测量硅晶片表面粗糙度(Sa=0.2nm)与槽道形貌,连续10次测量STR重复性稳定在0.1nm,助力工艺良率提升8%。
2.3C电子:适配手机玻璃屏粗糙度检测、金属壳模具瑕疵识别、油墨屏高度差测量,某手机代工厂应用后,批量检测效率提升60%,报表自动导出(Word/Excel/PDF)满足质检存档需求。
3.光学加工:针对纳米台阶、光学元件粗糙度测量,实现916.5nm台阶高度精准量化,某光学厂商反馈“测量数据与国际标准样块偏差<0.1%",大幅降低产品返工率。
4.汽车零部件:检测精密齿轮表面磨损、轴承孔隙间隙,在车间振动环境下仍保持数据稳定,某车企通过批量分析功能,将零部件质检周期从2小时缩短至30分钟。

1.自动化测量:操纵杆便捷操控,Mark点自动定位校正,单/多区域一键扫描分析。
2.数据处理:去噪、滤波等四大模块+五大分析功能,支持定制化模板批量处理。
3.安全保障:双重镜头防撞+光源自动熄灯设计,设备损耗率降低40%。
4.灵活配置:10×干涉物镜(可选2.5×-100×),320×200mm载物台适配不同尺寸工件。
1.交货期:合同生效后30天内免费送货上门,现场安装调试。
2.质保服务:验收后1年质保,故障2小时内响应,72小时上门维修。
3.增值支持:免费技术培训,质保期后成本价提供备件与维护服务。

SuperView W1系列纳米级白光干涉三维形貌仪用数据、案例、服务三重保障,为精密制造、科研检测等领域提供高精度+高效率+高适配的3D表面测量解决方案。如需获取行业定制化方案、产品演示视频或免费样品测试,欢迎联系中图仪器。
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