产品简介

PLR3000系列10nm分辨率光纤激光尺以突破性激光干涉技术，一站式解决高要求场景下的位置检测难题。已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。

光纤激光尺比传统光栅精度高10倍，分辨率达原子层级（10nm=100个原子直径！）以突破性激光干涉技术，一站式解决高要求场景下的位置检测难题。PLR3000系列10nm分辨率光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。

一、产品优势

1.高精度

分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。

环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。

2.灵活配置

支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。

可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。

3.高稳定性与便捷性

激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。

体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。

4.广泛适用性

最大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。

二、测量功能

1.纳米级信号输出：10nm高分辨率（支持外部拓展），正交数字/1Vpp正余弦信号双输出，适配各类控制器；

2. 全环境自适应：一体化环境气象站，实时补偿环境参数对测量的影响，数据长期可靠；

3. 灵活安装设计：激光主机与探头分离，3m铠装光纤连接，远离热源干扰，狭小空间也能便捷安装；

4. 多维度测量支持：单轴/双轴/三轴自由配置，搭配多种干涉探头，轻松实现多自由度测量；

5. 双重使用模式：PLR3000系列10nm分辨率光纤激光尺既可作为激光干涉仪独立测量，也可接入系统实现闭环位置反馈控制；

三、典型应用

1. 半导体制造：光刻机晶圆精准定位、精密工件台闭环反馈，助力芯片制造良率提升；

2. 航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准，保障核心部件可靠性；

3. 精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量，提升加工精度与效率；

4. 科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制，支撑前沿研究数据精准度；

注：产品参数将根据技术迭代持续优化，故本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。