SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪以白光干涉技术原理，用于对各种精密器件表面进行纳米级测量。通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

中图光学3D表面形貌轮廓仪SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图仪器SuperViewW1白光三维轮廓测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。双通道气浮隔振系统设计，既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气。

中图仪器SuperViewW1轮廓尺寸测量仪器设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。

中图仪器SuperVieW3D表面粗糙度轮廓检测仪基于白光干涉原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

中图仪器SuperViewW白光表面3d轮廓仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹，使基本的光学显微镜系统变为白光干涉轮廓仪。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。