SuperView W1-Pro3d轮廓形貌扫描仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。可覆盖8英寸及以下晶圆，定制版真空吸附盘，稳定固定Wafer；气浮隔振+壳体分离式设计，隔离地面震动与噪声干扰。

SuperViewW1光学3D轮廓测量仪是一款用于精密器件及材料表面的亚纳米级测量的检测仪器。只需要操作者装好被测工件，在软件里设好视场参数，把物镜调节到被测工件表面，选择自动聚焦后，仪器就会主动找干涉条纹开始扫描测量。然后自动生成工件表面3D图像，一键输出反映工件表面质量的2D、3D参数，完成工件表面形貌一键测量。

SuperViewW1光学3D表面轮廓检测仪是以白光干涉技术为原理的白光干涉仪，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测，具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。基于白光干涉原理，不仅用于零件的检测，还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备，能完成缺陷尺寸的在线检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车

中图仪器光学轮廓仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。

SuperViewW1轮廓粗糙度光学测量仪以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。

SuperViewW1轮廓度光学测量仪是以白光干涉技术为原理，能以亚纳米级精度测量从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

中图仪器3D轮廓光学测量仪测量大尺寸样品时支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

在同等系统放大倍率下，以白光干涉技术为原理的SuperViewW1三维光学轮廓仪的检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级超精密加工领域提供高精度检测功能。