除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，SuperViewW1白光干涉仪品牌具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

中图白光干涉仪SuperViewW1利用光学干涉原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域，用于表面形貌纹理，微观结构分析。测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

中图仪器SuperViewW1白光干涉显微镜也叫光学轮廓仪、光学3D表面轮廓仪、非接触式粗糙度轮廓仪等，仪器分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。

SuperViewW1高精度白光干涉仪对各种精密器件表面进行纳米级测量，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

SuperViewW1白光干涉测厚仪是以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪性能参数Z向分辨率：0.1nm；Z向扫描范围：10.3mm；XY水平位移台：电动手动均可调节。有自动化功能：自动单区域测量、自动多区域测量、多区域定位自动搜索测量、自动拼接测量；防撞保护：软件设置防撞、硬件传感器防撞。