SuperViewW1白光干涉显微轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；以白光干涉技术为原理，可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量。能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1白光干涉仪粗糙度仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1白光干涉仪检测设备以白光干涉技术为原理，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

SuperViewW1白光干涉3D轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等.

SuperViewW1白光干涉测量仪系统分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点。

SuperViewW1白光干涉仪检测仪器由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

SuperViewW1三维白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

中图白光干涉仪设备具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。它以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。