SJ6000系列chotest激光干涉仪结合不同光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量;在动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
中图仪器激光干涉仪sj6000配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。
SJ6000激光干涉仪测量分辨率0.01″,系统测量精度为±1″,基准WR50自动精密转台重复精度为0.2″。主要特点是小巧便携、功能强、无线操作。具有测量精度高、测量速度快、高测速下分辨率高、测量范围大等优点。
加工中心激光干涉仪常用于数控机床精度检测和补偿。可以将线性测量结果生成误差补偿表,精确的补偿,可以有效地降低运动轴的位置误差。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。
SJ6000国内激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量,还可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、加速度、速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。