台阶仪高精度薄膜厚度与台阶高度测量软件包含多个模块。500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。

除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，SuperViewW1国产自研白光形貌干涉仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW1白光干涉粗糙度仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能.

自设计之初，VT6000共聚焦高精度三维显微镜便定下了“简单好用”四字方针的目标。仪器采用自研的电动鼻轮塔台，并对软件防撞设置与硬件传感器防撞设置功能进行了优化，确保共聚焦显微镜在使用高倍物镜仅不到1mm的工作距离时也能应对。

中图仪器国产台阶仪厂商CP系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

在材料生产检测领域中，VT6000光伏检测仪器3D显微镜轮廓仪用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。它基于光学共轭共焦原理，结合精密纵向扫描，以在样品表面进行快速点扫描并逐层获取不同高度处清晰焦点并重建出3D真彩图像，从而进行分析的精密光学仪器，一般用于略粗糙度的工件表面的微观形貌检测，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、沟槽等参数。

SuperViewW1中图仪器三维白光干涉仪用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

CP系列台阶仪测量薄膜厚度仪器是一款超精密接触式微观轮廓测量仪，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器，具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。