VT6000微纳三维形貌共聚焦显微镜通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。

SuperViewW白光三维表面形貌仪测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

不同于立式电镜，CEM3000国产全自主高性能桌面扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。此外，该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。

NS系列国产亚埃级分辨率台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。

CEM3000材料科学扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。此外，该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中，该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术，展现出色的性能。

VT6000中图3d共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。