产品简介

中图仪器VT6000系列几何轮廓共聚焦显微镜以共聚焦核心技术为支撑，聚焦几何轮廓测量核心需求，为B端客户提供“高精度、高效率、全场景"的测量解决方案，成为品质管控与研发创新的核心装备！

在半导体制造、3C电子、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工领域，几何轮廓的精准测量直接决定产品装配精度与使用寿命。传统测量设备常面临“微观细节捕捉不足、大区域测量断层、数据重复性差"等痛点，而几何轮廓共聚焦显微镜——中图仪器VT6000系列，以共聚焦核心技术为支撑，聚焦几何轮廓测量核心需求，为B端客户提供“高精度、高效率、全场景"的测量解决方案，成为品质管控与研发创新的核心装备！

一、核心优势

1. 微米级精度，几何数据零偏差

依托尼普科夫转盘共聚焦光学系统与3D重建算法，搭配隔震设计消减振动干扰，让几何轮廓测量精准度直达行业水平：

（1）高度测量精度≤(0.2+L/100)μm，重复性≤12nm，可精准捕捉台阶、曲率、平面度等核心几何参数；

（2）宽度测量精度±2%，重复性≤40nm，清晰还原微小轮廓的尺寸细节；

（3）支持ISO/ASME/EUR/GBT四大标准，300余种2D/3D参数测量，数据可追溯，满足严苛的行业检测要求。

2. 全维测量能力，覆盖复杂几何轮廓

专为几何轮廓检测优化设计，兼顾微观与宏观、2D与3D测量需求：

（1）3D形貌表征：精准还原V型槽、激光烧蚀槽道、倒金字塔、微透镜阵列等复杂几何轮廓的三维形态，支持面积、体积等参数量化分析；

（2）2D尺寸测量：同步实现长度、角度、半径、直线度、真圆度、同轴度等二维几何参数检测，一台设备搞定多维度测量；

（3）自动拼接功能：大区域几何轮廓无需拆分测量，避免数据断层，适配超大尺寸工件的全域轮廓检测，检测效率提升30%以上。

3. 智能化操作，批量测量更高效

针对B端客户批量检测需求，优化全流程操作体验：

（1）一体化软件平台：测量与几何轮廓分析同界面操作，可视化窗口实时监控扫描过程，数据自动统计生成图表，无需反复切换软件；

（2）一键批量分析：支持多文件组合分析，可自定义几何轮廓分析模板，批量样品一键出结果，大幅减少人工操作时间；

（3）精密操纵手柄：集成X/Y/Z三轴调整功能，快速完成载物台平移与Z向聚焦，新手也能快速上手几何轮廓定位测量。

4. 全场景适配，复杂工况无压力

无论是光滑/粗糙表面、低/高反射率材质，还是从小型精密器件到大型工业部件，都能精准适配：

（1）三款型号灵活选择：VT6100（100×100mm行程）、VT6200（200×200mm行程）、VT6300（300×300mm行程+12英寸真空吸盘），覆盖不同尺寸工件的几何轮廓测量；

（2）适配多行业几何检测：半导体晶圆的微观槽道轮廓、3C玻璃屏的曲面曲率、汽车精密齿轮的齿形轮廓、MEMS器件的微结构尺寸，均能高效测量。

5. 双重防护设计，设备稳定更耐用

工业场景高强度使用下，保障设备长期稳定运行：

（1）镜头防撞保护：配备压力传感器与弹簧结构，碰撞后自动弹性回缩并急停，避免几何轮廓测量中因操作失误损坏镜头与扫描轴；

（2）光源智能节能：无人值守时自动熄灯，防止过热损坏，延长光源使用寿命，降低运维成本；

（3）宽环境适配：工作温度15℃~30℃，相对湿度5%~95%RH无凝露，兼容多数工业车间与实验室环境。

二、型号选型

按需匹配几何测量场景。

三、应用案例

1. 半导体行业：检测晶圆的激光烧蚀槽道几何轮廓，深度测量重复性≤12nm，助力优化封装工艺，提升芯片良率；

2. 3C电子行业：测量玻璃屏曲面曲率与微结构尺寸，平面度检测精度达0.1nm，保障屏幕装配贴合度；

3. 精密制造行业：对金刚石钻头、导电陶瓷的微观几何轮廓进行量化分析，为产品性能优化提供精准数据支撑；

4. 科研院所：为MEMS器件、微纳材料的复杂几何结构研发提供高精度测量支持，加速技术转化。

四、服务保障

1. 交货安装：合同生效后60天内免费送货上门，专业团队现场安装调试，确保设备快速投入几何轮廓检测；

2. 定制培训：针对几何测量操作、软件分析、设备维护开展全维度培训，确保技术人员熟练掌握核心技能；

3. 售后响应：1年质保（故障修复后顺延），2小时内报障回应，72小时内上门维修，配件供应链稳定，降低停机风险；

4. 灵活选配：可按需加装5×/20×/100×（APO）物镜、彩色影像系统、计量机构校准证书，适配个性化几何测量需求。

立即咨询，解锁几何轮廓精准测量方案！VT6000系列几何轮廓共聚焦显微镜，以硬核技术、丰富型号、完善服务，已成为超精密加工行业几何测量的优选装备。欢迎咨询获取对应行业的几何轮廓测量案例、型号参数对比表或专属报价。私信留言即可对接专属技术顾问，免费获取定制化几何轮廓测量方案与样品测试服务！