以激光干涉技术为核心，SJ6000激光干涉仪机床精度测试的分辨率可达纳米级。有测量机床回转轴精度、直线度、线性、运动导轨的俯仰角、扭摆角、定位精度、垂直度等检测功能，且可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

中图仪器的国产sj6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现平行度、线性测长、直线度、垂直度、角度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

SJ6000激光干涉仪量程精度高，可以弃普通车间进行应用，环境适应能力强，同时可进行动态高速测量，配以相应元件后还可以测量线速度、角度、平面度、振动幅度及速度等。

SJ6000机床设备激光干涉仪品牌以光波为载体，其光波波长直接对米进行定义，广泛应用于机床、精密机械设备、3D打印设备、自动化设备、三坐标、机器人、线性位移平台、精密检测仪器等领域的线性测量，是高精度、高灵敏度测量仪器。

GTS激光跟踪仪是工业测量系统中一种高精度的大尺寸测量仪器。它集合了激光干涉测距技术、光电探测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论等各种先进技术，对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标。它具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷、操作简便等特点，适合于大尺寸工件配装测量。

国产自主研发GTS激光跟踪仪是一种空间大尺寸三维坐标精密测量的先进几何量仪器，不仅可以对静止的空间目标进行高精度三维测量，还可以对运动的目标进行跟踪测量，是大尺寸精密测量的主要手段。

精密激光干涉仪具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

国产激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；