PLR3000多自由度激光尺测量仪分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。
GTS运动机器人位置标定激光跟踪仪具有测量范围大、精度高、功能多、可现场测量等优点,取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备,在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率,激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段。
GTS坐标定位激光跟踪仪是具有测量范围大、精度高、功能多、可现场测量等优点,取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备,在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率,激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段。
GTS激光跟踪定位检测仪具有测量范围大、精度高、功能多、可现场测量等优点,取代了大型固定式三坐标测量机、经纬仪、全站仪等许多传统测量设备,在设备校准、部件检测、工装制造与调试、集成装配和逆向工程等应用领域显示出高测量精度和效率,激光跟踪仪已成为大尺寸精密测量的主要手段。
GTS激光跟踪仪测量设备已经发展出三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪家族系列,可以和多种形式的合作目标测头配合使用。
PLR3000光纤激光干涉尺分辨率可达10nm,线性精度高达0.2ppm,为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。