机床设备激光干涉仪品牌

目前在检测机床精度方面，中图仪器研发生产的主流仪器是SJ6000激光干涉仪+WR50自动精密转台+MT21无线球杆仪。

SJ6000机床设备激光干涉仪品牌以干涉技术为核心，采用激光双纵模热稳频技术，可以输出高精度、长期稳定性好、抗干扰能力强的激光频率；为保证干涉光路稳定可靠，干涉镜与主机分离设计，避免了干涉镜受热影响；且其高精度环境补偿模块，可以实现激光波长和材料的自动补偿。

SJ6000激光干涉仪

搭配不同的镜组可以实现机床定位精度、垂直度、重复定位精度、偏摆角度、直线度、平行度等几何精度测量。

SJ6000激光干涉仪测量机床定位精度

SJ6000激光干涉仪测量机床垂直度

SJ6000激光干涉仪测量机床偏摆角度

SJ6000机床设备激光干涉仪品牌搭配WR50自动精密转台还可以实现机床回转轴自动测量。

回转轴测量原理

回转轴测量要将WR50连接到回转轴上，作为测角标准器。配置主要由SJ6000主机、角度镜组、WR50自动精密转台、SJ6000静态测量软件等构成。可实现0~360°的角度测量范围，±1''的测量精度，最高转速为10rpm。

WR50自动精密转台

WR50自动精密转台测量机床回转轴精度

MT21无线球杆仪是评价机床动态轮廓精度的精密仪器。

工作原理

将球杆仪的两端分别安装在机床的主轴与工作台上，测量两轴插补运动形成的圆形轨迹，并将这一轨迹与标准圆形轨迹进行比较，从而评价机床产生误差的种类和幅值。

MT21无线球杆仪

MT21无线球杆仪评定机床

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理数据并输出误差曲线，为数控机床的误差，修正提供可靠依据，现场使用尤其方便。配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差，是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。