双频激光干涉仪量程精度

激光的发明和应用使干涉测量技术提高了精度，扩大了量程和适用范围。激光干涉仪有单频和双频，其中单频激光干涉仪因为直流系统具有直流光平和电平零点漂移的弊端，很容易受环境影响，这限制了单频激光干涉仪的应用范围。而双频干涉仪在单频干涉仪基础上发展的一种外差式干涉仪，克服了单频激光干涉仪的弱点，即使是光强大幅度衰减的情况下，仍可得到合适的电信号，并且双频激光干涉仪量程精度更高。

激光干涉原理

激光干涉仪

除了环境适应能力好，双频激光干涉仪还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。中图仪器研发生产SJ6000激光干涉仪就是双频激光干涉仪。

产品参数

稳频方式：双频激光热稳频

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

SJ6000双频激光干涉仪量程精度

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

产品特点

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体：

采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；

采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；

采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；

采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；

采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

应用领域

SJ6000激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度测量仪器，广泛应用于精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、机器人、3D打印设备、机床、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。

测量机床回转轴精度

测量机床偏摆角度

数控机床精度校准

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