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白光干涉仪应用

简要描述:​中图仪器SuperViewW1白光干涉仪应用用途多样、设计简洁,能够测量不同的材质、结构、表面粗糙度和波度,涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。

  • 更新时间:2022-04-12
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:254

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域能源,电气,综合

中图仪器SuperViewW1白光干涉仪设计简洁、用途多样,能够测量不同的材质、结构、表面粗糙度和波度,涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。


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白光干涉仪应用操作步骤:

1. 将样品放置在夹具上,确保样品状态稳定;

2. 将夹具放置在载物台上;

3. 检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;

4. 使用操纵杆调节三轴位置,将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹;

5. 完成扫描设置和命名等操作;

6. 点击开始测量(进入3D视图窗口旋转调整观察一会);

7. 进入数据处理界面,点击“去除外形",采用默认参数,点击应用获取样品表面粗糙度轮廓;

8. 进入分析工具模块,点击参数分析,直接获取面粗糙度数据,点击右侧参数标准可更换参数标准,增删参数类型;

9. 如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;

10. 进入数据处理界面,点击“提取剖面"图标,选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取;

11. 进入分析工具界面,点击“参数分析"图标,点击右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。


白光干涉仪应用

场景一:超光滑的弧形表面

超光滑透镜测量.png


上图是一款旋转抛物面零件,用于微小位移和角度检测,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,针对其凹面弧形的检测需求,现有的显微测量仪器中,原子力显微镜和共聚焦显微镜,均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除,只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪,能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。


针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描, 重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。


场景二:粗糙的特征表面

摩擦磨损形貌测量.png



上图是涂覆在电极棒的催化剂表面全景图,整体尺寸在7mm左右,中心的催化剂区域呈低反射率特点,而圆环外呈高反射率特点,整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。


根据客户精度要求,可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法,并可依据表面粗糙程度,选择不同步距进行速度调节。



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