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光学表面轮廓仪

简要描述:SuperViewW1系列光学表面轮廓仪采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,诠释始终如一的测量品质。

  • 更新时间:2022-04-12
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:50

详细介绍

品牌自营品牌产地类别国产
应用领域生物产业,能源,建材,电子,综合

中图仪器推出的SuperViewW1系列光学表面轮廓仪采用了扫描模块和内部抗振设计,可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,诠释始终如一的测量品质。W1系列光学3D表面轮廓仪提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型,另可针对不同的客户需求,在两种型号间选取不同配置进行组合,让仪器切合客户需求,贴心省力。


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产品参数

产品型号:SuperView W1系列

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


产品型号:SuperView W1-Pro

影像系统:1024×1024

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY位移平台:尺寸300×300mm,行程200×200mm,电动

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


3D形貌地图配合色谱图,非常直观,但横向测试范围,纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中,3D AOI(自动光学检测)是对传统精密加工上的升级,弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学光学表面轮廓仪格实惠不说,基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1系列能以非接触的方式,无损检测精密机械加工表面,检测结果以3D数据地图的方式显示,直观地展示了表面纹理特征。





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