微米级白光干涉仪

光学器件，例如各种光学镜片和玻璃，属于超精密加工的产物，因此其表面质量等级很高。一般的非接触式光学影像方法没有办法客服其高透明度，中图仪器SuperViewW1微米级白光干涉仪为光学镜片和玻璃的表面质量检测提供了标准解决方案。

SuperViewW1微米级白光干涉仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数。

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中；

可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品性能

纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关

扫描帧速：50FPS/s

粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）

光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关

至大点数：1048576（标准）

台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ

应用示例

【玻璃表面台阶检测】

　　下图为透明玻璃表面镀的一层金属膜，需要测膜层的厚度，由于其非透明的特性，薄膜测厚仪无法进行测量，而由于其膜层厚度精度在纳米级别，接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在测量误差较大的风险，而以光学干涉原理为基础研制成的中图仪器白光干涉仪，以其亚纳米级别的测量精度，则可对该膜层厚度进行准确测量。

对两台阶高的检测

上图是利用软件的自动面台阶高检测功能对重建的3D图像两台阶高进行检测，从数值可知，两台阶面平均高度差为82nm，而至大高度差90nm，至小高度差为78nm。

【玻璃屏检测】

玻璃屏常见于我们日常所用的智能产品中，例如智能手机、智能手表，还有平板电脑等，为了获得更好的触屏体验，需要对玻璃屏的表面粗糙度和微观轮廓进行检测。以手机玻璃屏为例，说明光学3D表面轮廓仪在其中的应用： 

玻璃屏表面粗糙度检测

如上图，选取的测量区域发现了一条宽6um，深6nm的肉眼无法观测到的划痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。