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非接触光学表面3d轮廓仪

简要描述:中图仪器SuperViewW1非接触光学表面3d轮廓仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。

  • 更新时间:2022-05-20
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:394

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域医疗卫生,生物产业,能源,冶金,综合

在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域中,在同等放大倍率下,非接触光学表面3d轮廓仪的测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。


中图仪器SuperViewW1非接触光学表面3d轮廓仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。其重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。


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技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

 

产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


SuperViewW光学3d轮廓仪能对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例1.jpg


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