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3d光学表面轮廓检测仪

简要描述:要想测量物体整个区域的表面情况,只能用自动拼接测量功能,但耗时较多。中图仪器3d光学表面轮廓检测仪的自动多区域测量功能,能在样品表面抽取多个测量区域进行测量,从而对样品进行评估分析。

  • 更新时间:2022-06-21
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:56

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域能源,电子,交通,航天,汽车

要想测量物体整个区域的表面情况,只能用自动拼接测量功能,但耗时较多。中图仪器3d光学表面轮廓检测仪的自动多区域测量功能,能在样品表面抽取多个测量区域进行测量,从而对样品进行评估分析。


测量步骤

1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心

2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;5.设置好扫描方式和扫描范围;6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;9.根据被测物形状和尺寸,"形状"栏选择“椭圆平面",X和Y方向按需设置;10.点击弹出框右下角的“开始"图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。



中图仪器3d光学表面轮廓检测仪是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。


技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取


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光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

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