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w系列光学表面轮廓仪

简要描述:从检测效果和操作简便上来看,w系列光学表面轮廓仪是比较有优势的产品。可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,xy载物台标准行程为140*110mm(可扩展),局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。

  • 更新时间:2022-06-21
  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 访  问  量:313

详细介绍

品牌CHOTEST/中图仪器价格区间面议
产品种类非接触式轮廓仪/粗糙度仪产地类别国产
应用领域生物产业,能源,交通,航天,汽车

超精密加工这个行业覆盖面比较广,包括航空航天上用到精密零部件,包括金属、陶瓷片和石英制的精密器件,大多数由于要求在检测过程中不能划伤器件表面,因此在检测方式上需要采用非接触式的方式,因而需要用白光干涉仪这类光学测量仪器。从检测效果和操作简便上来看,白光干涉仪是比较有优势的产品。


w系列光学表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。


产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。


3.jpg


w系列光学表面轮廓仪可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,xy载物台标准行程为140*110mm(可扩展),局部位移精度可达亚微米级别,镜头的横向分辨率数值可达0.4um,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件;也可以测量大尺寸样品,支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。


大尺寸样品_拼接测量.jpg

光学3D表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,对各种产品、部件和材料表面的平面度、表面缺陷、磨损情况、粗糙度、波纹度、台阶高度、面形轮廓、腐蚀情况、孔隙间隙、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。


广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航天、科研院所等领域中。

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